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  • 無錫氣體純度和等級的劃分!這里更專業哦!

    發布時間: 2019-03-04 07:30:27

    新聞來源: 無錫久安化工有限公司

    由于氣體分為單質氣體、多元氣體、混合氣體和有機化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外,所含其它物質的多少。例如:氮氣的純度,是指除N成份外,含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬、塵粒等雜質的多少;氨氣的純度,是指除NH3成份外,含有的O2、N2、CO2、H2O、塵粒等雜質的多少;又如氮和氦的混合氣,是指除N2和He成份外,含有的O2、CO2、H2O塵粒等雜質的多少。

    無錫氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規模集成電路(VLSI)和特大規模集成電路(ULSI)的發展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。

    氣體純度常用的表示方法:

    1、用百分數表示,如99%,99.5%,99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。

    2、用“N”表示,如3N,5N,4.8N,5.5N,6N,7N等,N數目與(1)中的“9”的個數相對應,小數點后的數表示不足“9”的數。如4N(99.99%),6N(99.9999%),7N(99.99999%),4.8N(99.998%),5.5N(99.9995%)等。

    關于雜質含量有常量、微量和痕量等表示,對于低于微量和痕量雜質一般指ppm~ppb范圍。具體的雜質濃度:1ppm=10-4%;1ppb=10-7%;1ppt=10-10%。

    根據氣體純度的不同,通常又將氣體純度分為四級,即普通氣體、純氣體、高純氣體和超高純氣體,下表給出氣體純度等級和器件生產工藝上的應用。


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